離子束濺射系統

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磁控濺射鍍膜儀的优点!

發布日期:2019-09-19 作者: 點擊:

磁控濺射技術在建材、裝飾、光學、防腐蝕、工磨具強化等領域得到比較廣泛的應用,利用磁控濺射技術進行光電、光熱、磁學、超導、介質、催化等功能薄膜制備是當前研究的熱點。磁控濺射是物理氣相沈積的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導體、絕緣體等多材料,且具有設備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優點。磁控濺射鍍膜儀廠家帶你了解更多!

磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經曆複雜的散射過程,和靶原子碰撞,把部分動量傳給靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成級聯過程。

磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。但有一共同點:利用磁場與電場交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,從而增大電子撞擊氩氣産生離子的概率。所産生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。

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磁控反應濺射絕緣體看似容易,而實際操作困難。主要問題是反應不光發生在零件表面,也發生在陽極,真空腔體表面以及靶源表面,從而引起滅火,靶源和工件表面起弧等。

濺射鍍膜就是在真空中利用荷能粒子轟擊靶表面,使被轟擊出的粒子沈積在基片上的技術。利用低壓惰性氣體輝光放電來産生入射離子。

由于被濺射原子是與具有數十電子伏特能量的正離子交換動能後飛濺出來的,因而濺射出來的原子能量高,有利于提高沈積時原子的擴散能力,提高沈積組織的致密程度,使制出的薄膜與基片具有強的附著力。

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